晶圆经过前道工序后芯片制备完成,还需要经过切割使晶圆上的芯片分离下来,最后进行封装。不同厚度晶圆选择的晶圆切割工艺也不同:
厚度100um以上的晶圆一般使用刀片切割;
厚度不到100um的晶圆一般使用激光切割,激光切割可以减少剥落和裂纹的问题,但是在100um以上时,生产效率将大大降低;
厚度不到30um的晶圆则使用等离子切割,等离子切割速度快,不会对晶圆表面造成损伤,从而提高良率,但是其工艺过程更为复杂;
在晶圆切割过程中,事先会在晶圆上贴敷胶膜,以便保证更安全的“切单”,其主要作用有下面几个方面。
在划片操作时,需要对晶圆进行精确切割。晶圆通常很薄且脆,UV 胶带能将晶圆牢固地粘贴在框架或载片台上,防止晶圆在切割过程中发生位移、晃动,确保切割的精度和准确性。
它可以为晶圆提供良好的物理保护,避免切割过程中可能出现的外力冲击、摩擦等对晶圆造成损伤,如产生裂纹、崩边等缺陷,保护晶圆表面的芯片结构及电路完好。
便于切割操作
UV 胶带具有合适的弹性和柔韧性,在切割刀片切入时能够适度变形,使切割过程更加顺畅,减少切割阻力对刀片和晶圆的不良影响,有助于提高切割质量和刀片的使用寿命。
其表面特性能够使切割产生的碎屑较好地附着在胶带上,而不会四处飞溅,便于后续对切割区域的清理,保持工作环境相对清洁,也避免了碎屑对晶圆及其他设备造成污染或干扰。
易于后续处理