8寸，12寸晶圆的wafer notch有什么用？notch是怎么做的？有什么要求吗？

什么是wafer notch？

Notch 是指在硅片正下方上切出的一个小的凹槽，通常呈现为V形或U形。Notch有两个作用，一个是用来标记硅片的晶向，如<100>,<110>,<111>等；另一个作用是使硅片在半导体制造设备中能够正确定位和对准。一般在8寸，12寸晶圆中才会有notch。

Notch的形貌是什么样的？

notch的尺寸是要严格符合SEMI的标准的，如上图：

1，Vw代表notch的总宽度，它的大小与硅片的直径和厚度有关。

2，Vh是notch的深度，表示凹槽从硅片边缘到凹槽底部的垂直距离，一般范围在1.0 -1.25mm之间，Vh对于确保notch的对位精度至关重要。

3，AngV，即Notch Angle，AngV是notch的夹角，是凹槽两侧边缘之间的角度，一般在89°-95°之间，这个角度对notch的几何形状和定位起到决定性作用。

4，R1和R2分别表示notch两侧拐角的半径。这两个半径决定了凹槽拐角的圆滑程度，影响到notch的应力集中情况，影响硅片的机械性能。

5，Vr是notch底部的曲率半径，表示凹槽底部的弧度大小。Vr可以改变notch的曲线形状和平滑度，较大的Vr可以使notch底部更平缓，有助于减小应力集中。

6，Notch Orientation，凹槽的方向与晶圆的特定晶向平行，允许有±2度的偏差。