1. Compressor 压缩机

用途：压缩机用于将气体（通常是空气）压缩到更高的压力，以供给设备中的其他部分使用。

通俗解释：就像打气筒一样，它把空气压缩到更小的体积，增加压力。

2. Chiller 冷却器

用途：冷却器用于降低设备或工艺过程中产生的热量，以保持设备的正常运行温度。

通俗解释：类似于空调，它帮助设备降温，防止过热。

3. Tank湿法刻蚀的反应容器

用途：这是一个用于存储和处理化学溶液或气体的容器，主要在刻蚀过程中使用。

通俗解释：就像一个大罐子，用来盛放和混合化学液体。

4. Cable 线缆

用途：通常由铜制成，用于连接设备和电源，传输电力。

通俗解释：就像家里的电线，用来给设备供电。

5. ESC 静电卡盘

用途：用于在加工过程中固定住晶圆，通过静电力将晶圆吸附在卡盘上。

通俗解释：就像磁铁吸住铁片一样，但这里用的是静电来固定晶圆。

6. Lifter Pin 升降针

用途：在工艺过程中，用于提升和移动晶圆，帮助其在设备中进行不同的处理。

通俗解释：类似于电梯，帮助晶圆上下移动。

7. O Ring 密封圈

用途：用于设备中的密封，防止气体或液体泄漏。

通俗解释：像橡皮圈，放在瓶盖里防止液体漏出来。

8. Generator 电源

用途：提供电力给设备和工艺过程。

通俗解释：就像发电机，产生和提供电力。

9. MFC 气体质量流量计

用途：用于精确控制气体流量，确保工艺过程中的气体供应稳定。

通俗解释：类似于水表，但它是用来测量和控制气体流量的。

10. Gauge 测量仪器

用途：通常用于监控反应腔体的压力。

通俗解释：像气压表，用来测量和显示气体的压力。

11. Tool 工艺机台

用途：进行特定工艺步骤的设备，如刻蚀、沉积等。

通俗解释：像工作台，用来进行特定的工作。

12. Chamber 工艺腔体

用途：进行化学反应或物理处理的封闭空间。

通俗解释：像一个烤箱，里面进行特定的处理。

13. ARM or Robot 机械手臂

用途：用于取放和搬运晶圆，自动化程度高。

通俗解释：类似于工厂里的机械臂，用来搬东西。

14. FOUP（12吋） or Cassette（8吋） 盛放晶圆的器具

用途：用于存放和运输晶圆，保护其不受污染。

通俗解释：像蛋糕盒，用来装和保护晶圆。

15. PM (Prevention Maintenance) 预防性保养

用途：针对机台或腔体进行定期维护，以防止故障。

通俗解释：像汽车保养，定期检查和修理，防止出问题。

16. P Monitor (Particle Monitor) 缺陷监控

用途：监控工艺过程中的颗粒缺陷，确保产品质量。

通俗解释：像灰尘检测器，用来检查是否有不该有的颗粒。