玻璃基板是由工程玻璃材料(通常是低膨胀玻璃,例如硼硅酸盐玻璃或熔融石英)制成的晶圆状或面板状基板,用作先进半导体封装的基础平台。它们是高密度封装中重分布层 (RDL)、玻璃通孔 (TGV) 和互连的基础! 典型应用在人工智能和高性能计算加速器,高速通信 (5G/6G 射频/毫米波) 等光电子和光子学集成 。玻璃基板凭借其卓越的平整度、热稳定性和机械稳定性以及优异的电性能,正逐渐成为下一代先进半导体封装平台材料 !


主要结构形式:
玻璃芯基板 ——玻璃取代了基板中传统的有机芯材。
玻璃中介层 ——类似于硅中介层,但基于玻璃。
大型玻璃面板 ——用于面板级封装 (PLP)
玻璃基板正日益受到青睐,因为它们克服了传统材料(如有机层压板甚至硅)的关键局限性。以下是它们的主要优势:
接近硅的低热膨胀系数 (CTE) ——最大限度减少热循环过程中的热应力和翘曲
超平整、低翘曲表面 ——对于 SAP 和 mSAP 等细间距工艺至关重要
低介电常数和低损耗 ——提升高速信号完整性(对人工智能/高性能计算、射频/毫米波应用至关重要)
高电阻率和绝缘性 ——减少漏电和噪声。3D
高互连密度: 可实现精细布线和高密度芯片集成
高效的高频运行: 有利于毫米波/5G/光子学的共集成
更佳的耐热性: 可承受更高的加工和运行温度

