有的单片清洗机里也配有超声波，这是怎么实现的呢？共有几种超声波产生的方式？
晶圆清洗机一般分为：浸泡式清洗机，旋转喷雾式清洗机。浸泡式一般为批量清洗，可以调节的参数有温度，药液浓度，兆声波频率，功率，摇摆幅度等旋转喷雾式一般为单片清洗，可以调节的参数有温度，药液浓度，兆声波频率，功率，，药液流量，气压，喷嘴与晶圆的距离，摆臂速度等。共三种：槽式兆声波振板、喷淋式兆声喷头、贴合式兆声清洗头。
槽式兆声清洗，一般将兆声发射装置置于水槽底部，清洗时晶圆放置在水槽中。该种方式的优点是使用方便，可对产品进行批量清洗，故此又被称为“批量式”兆声清洗。
喷淋式兆声清洗是将兆声发射器做成喷嘴的形式，兆声随着水流下落到被清洗的晶圆上，相对于放置在处理槽底部的槽式兆声装置有更高的声传输效率。
贴合式兆声是在喷淋式和槽式的基础上进行改进而得到的更优化方式。其通常将兆声发射装置非常靠近晶圆表面，只留不超过3mm的间隙，清洗液从间隙流过，填满间隙，超声波在液体中传播，从而完成清洗。
