在半导体封装技术迭代的浪潮中,随着芯片集成度提升、功率密度突破,传统焊料的“耐高温瓶颈”日益凸显。尤其是第三代半导体(SiC、GaN)、车规级芯片、大功率器件的普及,对芯片互连的耐高温、高导热、高可靠性提出了更高要求——银烧结技术(低温连接技术,LTJT)应运而生,凭借其优异的热学、电学性能,成为先进封装领域的“核心互连方案”,更是破解高温场景封装难题的关键抓手。
1)银烧结的核心机制是“固态扩散”,
具体可分为三个阶段,无需复杂的化学反应,仅依靠物理作用实现连接:
第一阶段:预热与溶剂挥发。将银膏(纳米银粉/微米银粉与有机载体混合)涂覆在待连接界面,经过100-150℃的预热,有机载体逐步挥发,银颗粒暴露并紧密接触,形成初步的物理连接,此时界面仍存在大量孔隙,连接强度较低。
第二阶段:烧结与扩散。升温至180-300℃(根据工艺类型调整),并施加一定压力(有压烧结)或保持无压状态(无压烧结),银颗粒表面的原子开始活跃,发生“表面扩散”和“晶界扩散”——相邻银颗粒的原子相互渗透、融合,形成连续的银烧结层,孔隙率逐步降低。
第三阶段:致密化与界面结合。保温一段时间后,银颗粒进一步融合、长大,烧结层致密化程度提升(孔隙率可降至5%以下),同时与芯片、基板的金属电极(如铜、金)形成良好的冶金结合,最终实现“芯片-烧结层-基板”的一体化互连,具备优异的导热、导电和机械性能。
关键补充:银的本身特性是银烧结技术的基础——银的导热系数(429 W/(m·K))是铜的1.2倍、锡铅焊料的3倍以上,导电性能仅次于金,且高温稳定性极佳,在700℃以下不会发生明显的软化或失效,这也是其能适配高温场景的核心原因。
2)工艺
目前工业界应用最广泛的银烧结工艺主要分为“有压银烧结”和“无压银烧结”,两者在工艺参数、性能表现和应用场景上各有侧重,无需盲目追求“无压优于有压”,需根据产品需求选择。
有压银烧结:核心参数为烧结温度200-280℃、压力1-5 MPa、保温时间10-30分钟,采用热压烧结设备实现。其优势是烧结层致密化程度高(孔隙率低至3%以下),剪切强度可达30-50 MPa,可靠性极强,适合大功率SiC模块、车规级芯片等对连接可靠性要求极高的场景;劣势是设备成本较高,工艺复杂度略高,不适合大尺寸芯片或异形封装。
无压银烧结:核心参数为烧结温度250-300℃、无压力、保温时间30-60分钟,可采用烘箱或隧道炉实现。其优势是设备成本低、工艺简单,适合大尺寸芯片、批量生产及异形封装场景,且能适配柔性封装需求;劣势是烧结层孔隙率略高(5%-10%),剪切强度略低(20-35 MPa),长期高温服役的稳定性略逊于有压烧结。
此外,还有“银膜转印烧结”“纳米银烧结”等衍生工艺:纳米银烧结凭借银颗粒尺寸小(10-100 nm)、比表面积大,可实现150℃以下的超低温烧结,适合对温度敏感的芯片封装;银膜转印烧结则通过预制银膜替代银膏,减少有机载体挥发带来的孔隙,提升烧结层均匀性,适合高精度封装场景。
银烧结技术的核心价值的是“高温场景适配”,随着第三代半导体、新能源汽车、5G等产业的快速发展,其应用场景不断拓展,从高端军工、航天,逐步渗透到民用电子领域,成为先进封装的“刚需技术”。
1)第三代半导体封装(SiC/GaN):核心刚需
SiC、GaN等第三代半导体器件的最大优势是耐高温、耐高压、低损耗,其工作结温可达200℃以上,传统锡基焊料无法满足其封装需求,银烧结成为唯一的核心互连方案。
在SiC功率模块中,银烧结用于芯片与DBC基板(直接覆铜基板)、DBC基板与散热片的互连,能快速传导芯片工作时产生的热量,降低结温,提升模块的功率密度和可靠性——目前国内主流的SiC模块企业(如比亚迪半导体、斯达半导)均已采用银烧结技术,用于新能源汽车电驱、光伏逆变器等场景。
GaN器件方面,银烧结的低温特性的可适配GaN芯片的脆弱结构,避免高温焊接对芯片造成损伤,同时其高导热性能能解决GaN器件功率密度提升带来的散热难题,广泛应用于5G基站、射频器件等场景。
2 )车规级芯片封装:可靠性优先
新能源汽车的电驱系统、电池管理系统(BMS)、车载MCU等芯片,长期工作在高温、振动、潮湿的复杂环境中,对封装可靠性的要求极高——银烧结技术凭借其耐高温、抗振动、长寿命的优势,成为车规级芯片封装的首选方案。
比如,新能源汽车电驱系统中的IGBT模块,工作温度可达150-200℃,采用银烧结互连后,不仅能提升散热效率,还能承受车辆行驶过程中的剧烈振动,减少模块失效风险,延长电驱系统的使用寿命;此外,车载功率芯片、传感器芯片等也逐步采用银烧结技术,满足车规级可靠性要求(AEC-Q100标准)。
3)大功率器件与高端电子:突破性能瓶颈
除了第三代半导体和车规芯片,银烧结还广泛应用于各类大功率器件和高端电子设备,解决传统封装的性能瓶颈:
——光伏逆变器:大功率光伏逆变器中的功率模块,工作时产生大量热量,银烧结的高导热性能能有效降低模块温度,提升逆变器的转换效率和可靠性,适配集中式光伏电站的高温工作环境;
——军工/航天电子:军工、航天设备中的芯片,需在高温、极端环境下长期稳定工作,银烧结的耐高温、抗辐射、高可靠性特性,能满足其严苛要求,用于雷达、卫星、导弹等设备;
——AI芯片/GPU:随着AI芯片、GPU的集成度和功率密度不断提升,散热成为核心瓶颈,银烧结技术可用于芯片与散热基板的互连,提升导热效率,解决AI芯片的“过热问题”,目前英伟达、AMD等企业已在高端GPU中尝试采用银烧结技术;
——先进封装(2.5D/3D/Chiplet):在2.5D/3D堆叠封装、Chiplet互连中,银烧结的低温工艺可避免高温对芯片的损伤,同时其高导热、高可靠性能实现芯片间的高效互连,提升封装集成度,是先进封装技术的重要支撑。
1)全球范围内,银烧结技术的领先企业主要集中在日本、美国和德国,代表企业包括:
——日本京瓷(Kyocera):全球银烧结材料的龙头企业,其纳米银膏、银膜产品技术成熟,广泛应用于SiC模块、车规芯片等场景,占据全球高端银烧结材料市场的40%以上份额;
——美国Alpha Metals:专注于银烧结焊料、银膏的研发生产,其无压银烧结技术处于行业领先水平,适配批量生产场景;
——德国Heraeus:在银粉制备、银烧结工艺方面具有核心技术,其银烧结材料适配高端军工、航天场景;
此外,日本住友、美国3M等企业也在银烧结领域布局,形成了“材料-设备-封装”的完整产业链。
国内方面,银烧结产业起步较晚,但发展迅速,目前已有多家企业实现技术突破,主要分为三类:
一是材料企业:如宁波江丰电子、深圳顺络电子、上海贺利氏(合资)等,已实现纳米银粉、银膏的量产,产品性能接近国外同类产品,主要应用于中低端场景;
二是设备企业:如无锡先导智能、深圳劲拓股份等,已研发出有压/无压银烧结设备,打破国外设备垄断,降低国内企业的设备投入成本;
三是封装企业:如长电科技、通富微电、华天科技等,已掌握银烧结封装工艺,用于SiC模块、车规芯片等产品的封装,逐步实现进口替代。
2) 国产化突破重点:材料与工艺
国内银烧结产业的突破重点主要集中在两个方面,也是目前与国外企业的差距所在:
一是银烧结材料:纳米银粉的制备精度、银膏的配方优化是核心——国外纳米银粉的粒径均匀性、分散性更好,银膏的有机载体挥发速度、烧结活性更优,能实现更低的孔隙率和更高的剪切强度;国内企业目前已能量产纳米银粉,但在粒径均匀性、分散性方面仍有差距,高端银膏仍依赖进口。
二是烧结工艺:无压银烧结的致密化技术、大尺寸芯片的均匀烧结技术是国内企业的突破重点——国外无压银烧结的孔隙率可降至5%以下,而国内多数企业的产品孔隙率在8%-10%;此外,大尺寸芯片(如大于10mm×10mm)的银烧结均匀性控制难度较大,国内企业仍在优化工艺参数。
不过,随着国内第三代半导体、新能源汽车产业的快速发展,政策支持力度加大,国内企业的研发投入不断增加,预计未来3-5年,国内银烧结材料、设备将实现全面国产化替代,成本将下降30%-50%,推动银烧结技术向中低端场景普及。
银烧结技术的崛起,是半导体封装技术适应芯片功率密度提升、高温场景需求的必然结果——它不仅解决了传统焊料的耐高温瓶颈,更实现了导热、导电、可靠性的全方位升级,成为第三代半导体、车规芯片、先进封装的核心支撑技术。
目前,银烧结技术仍面临成本高、工艺门槛高的问题,且国产化率有待提升,但随着国内产业的快速发展和技术突破,这些瓶颈将逐步打破。未来,随着超低温烧结、工艺优化、成本下降等技术的推进,银烧结技术将逐步普及,成为半导体封装领域的“主流互连方案”,助力芯片技术向更高功率、更高集成度、更可靠的方向发展。
对于半导体从业者而言,了解银烧结技术的原理、工艺和应用,不仅能把握行业技术趋势,更能为产品设计、工艺优化提供新的思路——毕竟,在芯片封装的“高温赛道”上,银烧结已经成为不可忽视的核心技术。