晶圆键合了,也是应大家需求,介绍一下晶圆键合。大家的支持就是我的动力,还是那句话,需要帮助、资源,小编不会吝啬(穿马甲),不过这些都不重要,那些相当于加餐了,看我的文章也行,坚持原创,写别人没写过的,写简单且重要的东西。
一、为什么引入晶圆键合
背景简单介绍一下,为什么引入晶圆键合技术呢,那就是成本因素,因为晶圆键合能过够降低生产成本,通过晶圆键合可以将多层芯片在厚度方向上实现集成,以低成本提高器件性能。
二、什么是晶圆键合
键合(Bonding)是指在一定外部条件(如温度、压力、电压等)的作用下,使两个衬底材料 (如硅-硅或硅-玻璃等)形成足够近的接触,最终通过相邻材料的界面之间形成的分子间作用力或化学键.将两个衬底材料接合为一体的技术。
三、键合基本原理
一句话概括所有原理,狠不狠,尽管键合技术多种多样,但是所有键合的基础都是化学键形成原子或分子之间的相互作用力。
四、晶圆键合技术分类
我个人习惯上从这个分类角度去掌握键合技术,当然了有很多命名方式的键合技术,所谓,原子扩散键合,反应键合,玻璃块熔融键合。。。。
(该图片来自网络)我个人认为这种分类比较乱,不太容易掌握,为此大家可以参考我下面画的这个结构图,还算直接了当。
今天仅画个框架,未完待续,晶圆键合每个工艺细节逐一介绍,敬请期待,觉得有用的分享给身边需要的人吧!