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芯片制造中如何选择合适的禁带宽度材料
2025年04月09日 08:27   浏览:370   来源:小萍子
芯片制造的隐形力量:禁带宽度材料在芯片制造领域,材料的选择对芯片性能起着决定性作用,其中禁带宽度材料的重要性不容小觑。
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一、禁带宽度基础认知

禁带宽度(Band gap)是指一个带隙宽度(单位是电子伏特(ev)),即根据带隙的定义:导带的最低点和价带的最高点能量之差,如下图所示,带隙(禁带宽度)越大,电子由价带被激发到导带越难,本征载流子浓度就越低,电导率也越低。不同材料禁带宽度各异,例如硅约为1.12eV,砷化镓约为1.424eV 。温度升高,禁带宽度一般会减小;高浓度掺杂也会使其变窄。

第三代半导体-宽禁带半导体_北京大学东莞光电研究院


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二、不同禁带宽度材料特性

(一)窄禁带宽度材料

以锗为代表,其禁带宽度小,电子跨越禁带容易,低温下有较好导电性。但高温时,电子大量被激发,漏电流剧增,导致性能不稳定,所以在对温度要求高的芯片场景中受限。

(二)中等禁带宽度材料

硅是典型代表,因储量丰富、成本低,且氧化层能自然生长,便于制造MOSFET,成为当前芯片制造的常用材料。然而,硅的电子迁移率低,耐压和耐温能力弱,最高工作温度仅约150℃,在高频和高温环境下难以满足需求。锗硅都属于第一代半导体材料。

(三)宽禁带宽度材料

碳化硅和氮化镓等材料第三代半导体材料,具备诸多优势。它们击穿电场强度高,可承受高电压,减少电流泄漏;电子迁移速度快,在高频工作中表现出色;热导率良好,散热快,能在高温环境下稳定运行,工作温度可达300℃,可用于高温、高频、抗辐射及大功率器件,也是目前国家大力发展的新型半导体器件。


图1横轴为材料引入时间,纵轴为材料的禁带宽度,4eV以上禁带宽度的材料称为超宽禁带。包括目前比较典型氧化镓、金刚石和氮化铝。这些新材料的引入对半导体体系有很大发展和补充。

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表1列出了各类半导体材料的特性,从图可以看出,不同的半导体材料其性质相差甚远。例如,功率器件是目前半导体器件的一个方向,材料的功率特性包括电子的饱和漂移速度、击穿特性、热导率等,还有评价半导体材料用于开关器件潜力的巴利加优值,其值越大,器件功率越大,Si、GaAs、4H-SiC的巴利加优值分别为1、5、340,而金刚石的为24664。

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下图是以GaN和SiC为代表的宽禁带半导体材料与硅材料相比所具有的明显优势。因为这类材料具有宽的半导体带隙、高的电子饱和漂移速度、高的热导率、高的击穿强度,特别适合于制造工作于高频率、高速度、耐高温的半导体器件和短波长光电器件(如蓝光到紫外光LED和光电探测器件)。

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三、禁带宽度的影响因素

半导体禁带宽度与温度和掺杂浓度等有关:半导体禁带宽度随温度能够发生变化,这是半导体器件及其电路的一个弱点(但在某些应用中这却是一个优点)。半导体的禁带宽度具有负的温度系数。例如,Si的禁带宽度外推到0K时是1.17eV,到室温时即下降到1.12eV。

当掺杂浓度增大时,杂志原子会改变晶体结构和电子云分布,导致禁带宽度变窄。



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